从纳米“照相机”到纳米“摄像机” 国产扫描电镜制造取得进展

从纳米“照相机”到纳米“摄像机” 国产扫描电镜制造取得进展
对资料微观结构的观测一般离不开“微观相机”,即扫描电子显微镜。由此,在资料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研讨范畴迫切需要这种“利器”。但是,现在我国科研与工业部门所用的扫描电镜严峻依靠进口,每年花费上亿美元从美国、日本、德国和捷克斯洛伐克等国收购扫描电镜。国产扫描电镜也都会集在低端产品范畴。  记者近来从北京经济技术开发区得悉,由园区孵化的立异企业聚束科技(北京)有限公司(以下简称聚束科技)自主研制的高通量(场发射)扫描电子显微镜,以什物通电作业状况展现高端电镜的风貌,破解了国产扫描电镜“弱视”问题。  “该体系可对工程级资料进行全体纳米晶粒、成分散布计算等电镜微区剖析,视频级纳米剖析才能,使扫描电镜从传统含义的纳米‘照相机’跃变为纳米‘摄像机’。”聚束科技总经理何伟告知记者。一位业界资深人士表明,“尽管商场还不是特别大,但它是多个科研范畴用于科学剖析的要害仪器设备”。  据了解,现在领航者扫描电镜在国内装机数量到达10台(套),并出口海外,实现在国内严重科研项目上的示范性使用。下一步,扫描电镜设备还将被归入一些闻名半导体芯片制作商的试验室里,帮忙进行开发剖析,助力高端制作开展。

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